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타겟 몰리브덴 합금 타겟을 스퍼터링시키는 비 자기를 띤 몰리브덴 구리 합금 마그네트론
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x제품 상세 정보
| 이름 | 타겟을 스퍼터링시키는 몰리브덴 구리 합금 마그네트론 | 재료 | 몰리브덴 구리 합금 |
|---|---|---|---|
| 분류 | 내화 합금 타겟 | 형태 | 판형 타깃, 특별 모양 특화 |
| 등급 | 90MoCu,85MoCu,80MoCu,75MoCu,70MoCu,60MoCu,55MoCu,50MoCu,45MoCu,40MoCu | 장점 | 비자성적인 가장 높은 열전도율 |
| 사이즈 | 그림에 따라서 맞춥니다 | MOQ | 1대 pc |
| 강조하다 | 비 자기를 띤 몰리브덴 구리 합금,PRM 몰리브덴 구리 합금,마그네트론 스퍼터 표적 |
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제품 설명
타겟을 스퍼터링시키는 몰리브덴 구리 합금 마그네트론
1. 몰리브덴 구리 합금 마그네트론 스퍼터 표적에 대한 기술 :
몰리브덴-구리 불순물 마그네트론 스퍼터 표적을 준비는 침윤법에 주로 의한 것입니다. 처음으로, 조대 입자 크기와 몰리브덴 분말은 몰리브덴 군인 숙사 골자 안으로 소결하는데 사용되고 다양한 구리 함량과 몰리브덴-구리 합금을 획득하기 위해 그리고 나서 구리액 내에 침투됩니다. 획득한 몰리브덴-구리 불순물과 좋은 단체, 좋은 아크 차단 성능, 좋은 전기 전도도, 좋은 열전도율과 작은 열팽창. 고품질 몰리브덴 분말과 무산소 구리 분말을 사용하고, 등압 압축 성형을 적용하고, 우수한 성능을 가지고 있는 고동형 내용과 몰리브덴-구리 합금을 획득하기 위해 소결하기. 몰리브덴-구리 불순물은 비슷한 텅스텐-구리 복합 소재 보다 더 높은 40%이고, 높은 열전도율과 열이고 역학적 성질과 열 팽창 특성을 가지고 있습니다.
2. 몰리브덴 구리 합금 마그네트론 스퍼터 표적의 매개 변수 :
| 등급 | 볼리브덴 콘텐츠 % | 구리 함량 % | 비중 (g/cm3) | 열전도율 (W/M.K) | 열팽창계수 (10-6/K) |
| Mo85Cu15 | 85±1 | 균형 | 10 | 160~180 | 6.8 |
| Mo80Cu20 | 80±1 | 균형 | 9.9 | 170~190 | 7.7 |
| Mo70Cu30 | 70±1 | 균형 | 9.8 | 180~200 | 9.1 |
| Mo60Cu40 | 60±1 | 균형 | 9.66 | 210~250 | 10.3 |
| Mo50Cu50 | 50±1 | 균형 | 9.54 | 230~270 | 11.5 |
| Mo40Cu60 | 40±1 | 균형 | 9.43 | 280~290 | 11.8 |
3. 몰리브덴 구리 합금 마그네트론 스퍼터 표적의 화학 :
| 등급 | 합금 성분 % | 음란 요소 콘탠츠 (최대.<> | |||||||||
| Mo | Cu | Ｗ | Mg | Ca | Fe | Ｃ | 엔 | Ｈ | 오우 | 다른 불순물 양 | |
| Mo40Cu60 | 잔존물 | 60±2.0 | 0.015 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.015 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
| Mo45Cu55 | 잔존물 | 55±2.0 | |||||||||
| Mo50Cu50 | 잔존물 | 50±2.0 | |||||||||
| Mo55Cu45 | 잔존물 | 45±2.0 | |||||||||
| Mo60Cu40 | 잔존물 | 40±2.0 | |||||||||
| Mo65Cu35 | 잔존물 | 35±2.0 | |||||||||
| Mo70Cu30 | 잔존물 | 30±2.0 | |||||||||
| Mo75Cu25 | 잔존물 | 25±2.0 | |||||||||
| Mo80Cu20 | 잔존물 | 20±2.0 | |||||||||
| Mo85Cu15 | 잔존물 | 15±2.0 | |||||||||
| Mo90Cu10 | 잔존물 | 10±2.0 | |||||||||
4. 몰리브덴 구리 합금 마그네트론 스퍼터 표적의 생산 기술 :
액상 소결 방법 : 몰리브덴-구리 혼합 분말이 눌러지고 형성된 후, 그것은 1300-1500에' 액상에서 소결시킵니다. 이 방법에 의해 준비된 물질은 부족한 균일성, 많은 닫힌 공간을 가지고 있고 밀도가 보통 98% 보다 낮습니다. 이로써 몰리브덴 구리 합금의 비중을 향상시키면서, 그것은 소결형 활성을 향상시킬 수 있습니다. 그러나, 니켈 활성화 소결은 의미 심장하게 재료의 전기적이고 열 지중을 감소시킬 것이고 메커니컬 알로잉에서 음란에 대한 도입이 또한 재료의 지중을 감소시킬 것입니다 ; 파우더로 준비하기 위한 옥사이드 공환원 반응 방법은 대량 생산하기 위해 과정에서 번거롭, 생산 효율에서 낮은,와 힘듭니다.
몰리브덴 골자 침윤법 : 처음으로, 몰리브덴 분말은 형태로 가압되고, 어떤 구멍과 몰리브덴 골격 안으로 소결했고 그리고 나서 구리가 침투됩니다. 이 방식은 낮은 구리 함량과 몰리브덴 구리 제품에 적합합니다. 비록 열저항성이 텅스텐 구리의 그것만큼 좋지 않지만, 그것은 약간의 열-저항 소재 보다 더 낫고 따라서 적용 전망이 더 좋습니다.
5. 몰리브덴 구리 합금 마그네트론 스퍼터 표적의 특성 :
몰리브덴-구리 합금은 구리와 몰리브덴, 고강도, 높은 비중, 고온저항, 아크 제거 저항, 좋전기적이고 열전도율과 좋은 처리 성능의 장점을 결합시킵니다. 생성물 순도와 정확한 비율, 미세 구조와 우수한 성능을 보증하기 위해 등압 압축 성형 (고온 소결 구리 돌파)을 적용하는 고품질 몰리브덴 분말과 무산소 구리 분말을 사용하기. 좋은 아크 차단 성능, 좋은 전기 전도도, 좋은 열전도율, 열팽창은 작습니다.
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