-
데이비드좋은 서비스와 고급 품질과 우량 기업과 높은 명성. 우리의 믿을만한 공급업체, 상품 중 하나는 시간과 예쁜 포장에 전달됩니다.
-
존 모리스물질적 전문가들, 혹독한 처리, 설계 도면의 문제와 우리와의 통신의 적시 디스커버리, 생각이 깊은 서비스, 합리적인 가격과 상등품, 내가 우리가 더 많은 협력을 가지고 있을 것이라고 믿습니다.
-
조르지당신의 좋은 애프터 서비스에 대해 감사하세요. 우수한 기술과 기술 지원은 상당히 나를 도왔습니다.
-
페트라바른 뛰어난 화술을 통하여 모든 문제는 해결되었고 내 구매로 만족합니다
-
에드리언 헤이터이번에 구입된 상품은 매우 충족합니다, 품질이 매우 좋고 표면 처리가 매우 좋습니다. 나는 우리가 곧 다음 명령을 주문할 것이라고 믿습니다.
반도체 산업 몰리브덴 목표 몰리브덴 디스크 몰리브덴 제품을 위한 20 밀리미터 몰리브덴 스퍼터 표적

무료샘플과 쿠폰을 위해 나와 연락하세요.
왓츠앱:0086 18588475571
위챗: 0086 18588475571
스카이프: sales10@aixton.com
만약 당신이 어떠한 관심도 가지면, 우리가 24 시간 온라인 도움말을 제공합니다.
x이름 | 반도체 산업을 위한 몰리브덴 스퍼터 표적 | 재료 | 몰리브덴 및 몰리브덴 합금 |
---|---|---|---|
순도 | 99.95% | 비중 | 10.2g/cm3 |
두께 | <20mm> | 지름 | <300mm> |
서피스 | 닦습니다 | 표준 | ASTM B386 |
강조하다 | 20 밀리미터 몰리브덴 스퍼터 표적,닦은 몰리브덴 스퍼터 표적,99.95% 몰리브덴 스퍼터링 |
반도체 산업을 위한 몰리브덴 스퍼터 표적
1. 몰리브덴에 대한 기술이 반도체 산업을 위한 목표를 스퍼터링시킵니다 :
몰리브덴은 고온에 우수한 기계적 품질, 낮은 팽창 계수, 강한 열전도율과 예외적으로 높은 전기 전도도와 다재다능한 내화 금속입니다. (TZM 플레이트와 같이) 순수한 몰리브덴 목표, 몰리브덴 티타늄 타겟, 몰리브덴 탄탈륨 타겟과 몰리브덴 합금 타겟을 포함하여, 스퍼터 표적으로서 사용될 수 있는 수많은 조합이 있습니다.
반도체를 위해 사용된 물질은 덧붙여 옥사이드 또는 질화물과 같은 물질에, 텅스텐, 몰리브덴, 니오븀, 티타늄과 실리콘과 같은 순금속 타켓을 포함합니다. 재료 선택 절차가 엔지니어들과 과학자들이 코팅 공정 전체에 걸쳐 완성한다고 증착 운영이 매개변수화할 만큼 결정적입니다.
2. 몰리브덴의 규모가 반도체 산업을 위한 목표를 스퍼터링시킵니다 :
두께 : <20mm>
지름 : <300mm>
서피스 : 닦습니다
표준 : ASTM B386
다른 사이즈는 고객의 그림에 따라 처리될 수 있습니다.
3. 반도체 산업을 위한 몰리브덴 스퍼터 표적의 화학 물질 함량 :
정량 분석 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
요소 | Ni | Mg | Fe | Pb | Al | 양성입니다 | Si | Cd | Ca | P | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Concentration(%) | 0.003 | 0.002 | 0.005 | 0.0001 | 0.002 | 0.0001 | 0.002 | 0.0001 | 0.002 | 0.001 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
요소 | C | 오우 | 엔 | Sb | 스킨 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Concentration(%) | 0.01 | 0.003 | 0.003 | 0.0005 | 0.0001 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
순도 (금속 베이스) Mo≥99.95% | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
특성 | 순수한 몰리브덴 | 도핑된 몰리브덴 | 고온 몰리브덴 합금 | ||
원자 계수 | 42 | ||||
원자 중량(m) | 95.95 | ||||
레티스 상수(a) | 체심 입방 | 3.14'10-10 | |||
비중(r) | 10.2g/cm3 | ||||
녹는 핵심(t) | 2620±10C | ||||
끓인 핵심(t) | 4800C | ||||
선 팽창 계수(a1) | 20C | 5.3'10-6/K | 5.3'10-6/K | 5.3'10-6/K | |
20-1000C | 5.8'10-6/K | 5.8'10-6/K | 5.8'10-6/K | ||
20-1500C | 6.5'10-6/K | 6.5'10-6/K | 6.5'10-6/K | ||
특별한 열기(u) | 20C | 0.25J/g·K | 0.25J/g·K | 0.25J/g·K | |
1000C | 0.31J/g·K | 0.31J/g·K | 0.31J/g·K | ||
2000C | 0.44J/g·K | 0.44J/g·K | 0.44J/g·K | ||
열 전도성(l) | 20C | 142 W/m·K | 142 W/m·K | 126 W/m·K | |
1000C | 105 W/m·K | 105 W/m·K | 98 W/m·K | ||
1500C | 88 W/m·K | 88 W/m·K | 86 W/m·K | ||
저항률(r) | 20C | 0.052mWm | 0.065mWm | 0.055mWm | |
1000C | 0.27mWm | 0.28mWm | 0.31mWm | ||
1500C | 0.43mWm | 0.43mWm | 0.45mWm | ||
2000C | 0.60mWm | 0.63mWm | 0.66mWm | ||
방사 에너지 | 730C | 5500.0W/m2 | |||
1330C | 6300.0W/m2 | ||||
1730C | 19200.0W/m2 | ||||
2330C | 700000.0W/m2 | ||||
열중성자 흡수 단면적 | 2.7'10-28m2 | 2.7'10-28m2 | 2.7'10-28m2 | ||
장력 힘(Sb) | 0.10-8.00mm 플레이트 | 590~785MPa | 450~520MPa | 690~1130MPa | |
f0.80 와이어 | 1020MPa | 1570MPa | |||
힘(S0.2)를 만드세요 | 0.10-8.00mm 플레이트 | 540~620MPa | 290~360MPa | 620~1000MPa | |
Elongation(%) | 0.10-8.00mm 플레이트 | 3~17 | 15~75 | 2~8 | |
f0.80 와이어 | 1.5 | 2 | |||
탄력 있는 기준(E) | 20C | 320GPa | 320GPa | 320GPa | |
1000C | 270GPa | 270GPa | 270GPa | ||
견고성(HV10) | <70% 변형은 도금처리합니다 | 200~280 | 240~340 | ||
>70% 변형은 도금처리합니다 | 260~360 | 300~450 | |||
재결정판 | 140~160 | 170~190 | <200 | ||
가소성-취성 변화 온도(T) | -40~40C | ||||
초기 재결정화 온도(T) | 어닐링된 >90%Deformation 플레이트 1h | 900C | 1400C | 1250C | |
마지막 재결정화 온도(T) | 1까지 단련됩니다 | 1200C | 1700C | 1600C |
5. 몰리브덴의 특징이 반도체 산업을 위한 목표를 스퍼터링시킵니다 :
스퍼터링되기 위해 매우 몰리브덴과 텅스텐과 같이 전통적 침착 기법과 매우 고융점의 고온과 물질은 단순한 것보다 비산 코팅은 더 잘 기판을 고수합니다. 덧붙여, 증발이 단지 바닥에서부터 위까지 행해질 수 있지만, 스퍼터링은 양쪽으로 행해질 수 있습니다.
스퍼터 표적은 거기가 또한 케케묵고 이용 가능한 삼각 옵션일 지라도 자주 원형이거나 직사각형입니다. 기판은 코팅될 필요가 있는 항목이고 그것이 태양 전지에서부터 광학 구성 요소까지 반도체 웨이퍼에 어떤 것일지 모릅니다. 코팅은 일반적으로 옹스트롬부터 마이크론까지 두께에서 이릅니다. 도막은 층으로 적층된 단일 재료 또는 여러 물질로 구성될 수 있습니다.
고순도와 좋은 고밀도와 일관된 입자 특성은 스퍼터링 공정 전체에 걸쳐 극단적으로 높은 스퍼터링 효율과 동질적인 필름 두께와 깨끗한 식각 표면의 결과를 초래한 몰리브덴 스퍼터 표적에 참석합니다.

아래의 버튼을 클릭하세요를 위해 더 많은 자사 제품을 배웁니다.